光学微电子净化工程之定义为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给于特别设计之密闭空间。
光学微电子净化工程亦名无尘室或清净室,目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来,由于技术之创新发展,对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切,如超大型积体电路之研究制造,已成为世界各国在科技发展上极为重视的项目,而我公司的设计理念及施工技术在行业中则处于领先地位。
江西佰地信环境工程有限公司
电子无尘车间设计规范依据:
1、国际标准《ISO/DIS 14644》
2、洁净厂房设计规范《GB50073-2001》
3、工业洁净厂房设计规范《GMP-97》
4、生产质量管理规范《GMP-98》
5、洁净室施工及验收规范《JGJ 71-90》
6、通风与空调工程施工及验收规范《GB 50243-2002》
7、美国联邦标准《FS209E-92》
电子无尘车间净化参数:
换气次数:100000级≥15次;10000级≥20次;1000级≥30次;
压差:主车间对相邻房间≥5Pa;
平均风速:10级、100级0.3-0.5m/s;
温度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波动±2℃;
湿度45-65%;GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电;
噪声≤65dB(A);
新风补充量是总送风量的10%-30%;照度300LX。
电子无尘车间结构材料:
1、净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强;圆弧墙、角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造。
2、地面采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。
3、送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。
4、高效送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁。
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